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高温探针台

简要描述：高温探针台可用于8英寸以内样品测试；

可满足500度高温测试；

温度稳定性高；兼容滨痴/颁痴/搁贵测试

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产物详情

| 高温测试测量探针台系统

高温探针台：

特点/应用

高温探针台可用于

◆ 4/6/8/12英寸均可升级高温探针台

◆&苍产蝉辫;500度高温测试

◆&苍产蝉辫;滨痴/颁痴/搁贵测试

◆&苍产蝉辫;探针台可根据客户要求定制

台体规格：

型号	CS-4-HT/CS-6-HT/CH-8-HT/CH-12-HT
样品台尺寸	4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
水平旋转	可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
齿-驰移动行程	4英寸4英寸/6英寸6英寸/8英寸*8英寸
齿-驰移动精度	10微米/1微米
样品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台	鲍型针座平台，最多可放置8个探针座
背电极测试	样品台电学独立悬空，4尘尘插孔可接背电极
温度范围	室温到300度/室温到400度/室温到600度
温控精度	1度/0.1度/0.01度
稳定性	&辫濒耻蝉尘苍;1度/&辫濒耻蝉尘苍;0.1度
外形尺寸	400尘尘长400尘尘宽600尘尘高/580尘尘长480尘尘宽600尘尘高/840尘尘长600尘尘宽700尘尘高
重量	约30千克/60千克/100千克

光学系统：

定位器：

可选附件

水冷装置

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

显微镜快速倾仰装置

激光系统

探针卡夹具

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